当下，遍及全球的数字化技术正在催生新一轮的科技革命和产业变革，尤其自去年，在经济发展停滞和疫情的双重夹击下，发展半导体芯片的创新和制造的实力，加强自主创新意识及知识产权战略布局，已经自上而下成为中国全社会的新共识。新能源、信息通讯、消费电子等下游电子信息产业的快速发展的同时，湿电子化学品行业需求的更新换代速度也不断加快。

湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料，也是重要支撑材料之一，其质量的好坏，直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性，对微电子制造技术的产业化有重大影响。因此，电子工业的发展要求湿电子化学品与之同步发展，不断地更新换代，以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。从某种意义上说，湿电子化学品支撑着新能源、现代通信、计算机、信息网络技术、微机机械智能系统、工业自动化和家电等现代技术产业。

所以，电子化学材料产业的发展规模和技术水平，已经成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志，在国民经济中具有重要战略地位，是科技创新和国际竞争最为激烈的材料领域之一。

江阴江化微电子材料股份有限公司(下文称：江化微)是目前国内规模最大、品种最齐全、整体配套服务能力最强、技术领先的湿电子化学品专业服务提供商之一，在业内享有较高的声誉。近日，江化微副总经理姚玮先生就湿电子化学品的研发相关话题接受了记者采访。

江阴江化微电子材料股份有限公司副总经理姚玮先生

湿电子化学品的角色

姚玮首先归纳到，我国半导体行业的发展可分为三个阶段：

第一阶段自 80 年代改革开放起，带有国家主导的单位、研究所等等，初期引入了一些集成电路的产线，由于比较缺少经验，真正投入运营起来的生产线还是寥寥无几。

第二阶段为在 20 世纪 90 年代八五期间实施的发展微电子产业的重点工程，主体企业是由无锡 742 厂和永川半导体研究所无锡分所合并成立的中国华晶电子集团公司，该项目的建成投产使国内集成电路生产技术水平由 2-5 微米提高到 0.8-2 微米。909 工程是电子工业有史以来投资规模最大的国家项目，表现了当时党和国家的领导人迫切希望提高我国集成电路水平。

第三阶段自 2014 年 10 月 14 日，工信部办公厅宣布国家集成电路产业投资基金设立至今，国家重点投资集成电路芯片制造业，兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业，实施市场化运作、专业化管理，在这一阶段我国在集成电路领域产生了较快发展。

超净高纯化学试剂成为制约半导体等微电子微细加工技术发展的瓶颈。以半导体生产为例，大规模集成电路在其生产过程中有几十道工序，工艺制造过程中的空气、水、各种气体、化学试剂、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等各种因素都可能带来污染物，集成电路集成度越高，对高纯试剂颗粒控制的要求越严格，污染物数量超过一定限度时，会导致集成电路产品漏电、电特性异常等情况，轻者影响电路使用寿命，严重时可导致电路报废，而这些污染物都需要相关的超净高纯试剂去除。随着集成电路线宽尺寸减小，对专用化学品中的金属杂质、尘埃含量、尘埃粒径等指标提出了更高的要求。

超净高纯试剂正是随着集成电路制造业对产品纯度不断提出严格要求，在通用试剂基础上发展起来的纯度最高的试剂。为衡量不同湿电子化学品的“超净”和“高纯”的程度， 1975 年国际半导体设备和材料组织(SEMI)制定了国际统一的超净高纯试剂标准，以对应不同线宽的集成电路应用。目前国际上制备 G1 到 G5 级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟，国内大部分企业已经达到了国际 G3 标准，并已开展 G4 与 G5 标准产品的研发工作。一些技术领先的湿电子化学品企业，如江化微公司，目前技术水平已达到 SEMI 标准等级的高端行列，硝酸、硫酸、氨水、金属刻蚀液等均已完成行业 G4 级或 G5 级品类中试，量产在即。

江化微的技术演进

作为国家火炬计划高新技术企业，江化微历来注重自主研发创新，配备有 50 余人的专业研发团队，是江苏省企业技术中心和江苏省超高纯湿电子化学品工程技术中心。公司全心致力于微电子、光电子专用湿电子化学品制造业的发展，不断开发出先进的工艺技术和生产高性能的微电子化学品，是目前国内产品达到国际标准，且具有一定生产规模的多家企业之一。随着下游对产品纯度不断提出严格要求，江化微不断创新技艺突破技术壁垒，在半导体制程当中所涉足到的化学品除了光刻胶、研磨液以外，基本上做到了全覆盖，能够为下游客户开发功能性新产品，有效解决客户对产品的功能性需求，获得客户的广泛认可，为我国半导体在内的集成电路制造业自主研发控制核心技术提供了不可或缺的前提条件和支持。

谈及技术突破过程中，姚总表示，满足下游产业不断提出的更高要求，对于如江化微一样的供应商而言需要的是对更高标准的检测技术的掌握，这当中有来自于安捷伦这样的公司提供的帮助。“比如为应对 G4 或者 G5 标准，进入到中高端制程与之匹配的 ICP-MS/MS 等高端仪器都是必不可少的。在一些中高端芯片制程当中我们提供的数据不能不准确，必须是非常严谨的，因为某些元素超标就可能影响到芯片的性能，特别是一些电性能这方面受到一些元素的影响，哪怕是很微不足道的 PPT 级的对它也会有影响，这就对我们的合作伙伴像安捷伦科技这样的分析仪器制造企业提出了挑战，经过时间的考验安捷伦无疑提交了令人满意的答卷，无论是检测相对低要求的服务了超过 20 年经久耐用的 7500 ICP-MS 系列还是应对高要求的不断创新研发解决问题的 8800 ICP-MS/MS 和 8900 ICP-MS/MS。与江化微有着一样不断满足客户需求不断突破自我的信念的企业才是研发生产路上最好的合作伙伴。”

安捷伦代表与江化微领导在第二届半导体湿电子化学与电子气体论坛合影

(从左至右：安捷伦科技化学分析市场经理王海鉴 江化微副总经理姚玮先生 安捷伦科技材料行业市场经理冯旭)

在国家政策支持下，包括江阴江化微电子材料股份有限公司在内的中国科技企业不断总结经验教训潜心研发攻克技术难题，以技术为先导，自主研发、与客户共同研发及“产学研用”相结合，不断实现产品的升级换代;以服务为依托，秉持“为客户提供价值”及“同客户共同成长”的理念，逐步增强综合配套服务能力，致力于成为国际电子化学品研发的引领者和高端配套服务提供商，助力下游产业中国客户技术革新科技强国，相信“技”高一筹指日可待!

期待机遇无限的未来

作为处在市场前景光明的高端化学品行业，江化微也观察到随着国家政策战略以及资金支持、国内高科技产业不断升级、技术逐渐成熟等背景下，传统的化工企业也在不断寻求产品升级转型的机会。有着丰富行业经验的姚总分享了几点宝贵经验，“首先企业自身要有一支专业性的管理团队、技术团队，要熟悉行业未来发展的方向、确定自身的产品等级、去服务这个行业当中的哪些客户群。与之对应的，产品技术来源、专利技术等等需要工业设备要去配套支持。其次，及时转变与之适应的管理体系。积极与比较先进的客户群沟通学习，包括芯片厂各项的管理、对产品品质的管控，要从用户角度去转变我们的观念与思路，来适应用户越来越高的要求，才能够尽快得到客户群的认可。最后是做产品，产品的装备升级、对应的包括检测的仪器升级、检测方法的提升与建立完善等，也是非常关键的转变。”

“大家都知道中国国内的市场非常庞大，中国可以带动世界的经济占比都是比较高的，特别是这两年，包括人才的回流，市场本身又在国内，可以说国内半导体的发展和繁荣已到了天时、地利、人和的阶段，这是我对半导体行业的展望。应该讲，未来是有可超过十年以上的繁荣期和发展。与此对应的，我们处在整个材料行业当中提供材料包括设备的子行业，与我们配套的检测器材行业比如安捷伦，所提供的包括检测设备、解决方案这一块，相辅相成一同来发展，应该是比较好的前景。”谈及行业未来发展，姚玮这样评价。